氣冷羅茨真空泵意味著(zhù)該泵可以在大氣壓下開(kāi)頭泵送，并且可以將泵送的氣體直接排放到大氣中。泵腔內沒(méi)有油或其他介質(zhì)，并且泵的極限壓力與油密封的真空泵處于同一水平?；蚩拷鼨C械真空泵。
在氣冷羅茨真空泵行業(yè)中，當前大多數真空泵都使用油，水和其他聚合物作為泵介質(zhì)。它們的主要功能是潤滑，冷卻和密封。但是，真空泵和抽運系統有以下問(wèn)題要解決：1、泵的工作介質(zhì)污染了抽運的容奣。最直接的后果是它將影響產(chǎn)品質(zhì)量并增加泵的維護成本；2、在此過(guò)程中，反應材料會(huì )使泵中的介質(zhì)變質(zhì)，從而導致泵體無(wú)法正常工作。 這是當前面臨的兩個(gè)主要問(wèn)題。
氣冷羅茨真空泵的使用可以取得很好的效果，那么氣冷羅茨真空泵的應用領(lǐng)域有哪些？以下將重點(diǎn)介紹其應用范圍：
1、氣冶羅茨泵適用于化學(xué)，制藥和食品德業(yè)的蒸餾，干燥，脫氣，包裝等，以防止有機溶劑污染；
2、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝；
3、半導體刻蝕工藝，這些生產(chǎn)工藝常常使用腐蝕性氣體和磨料顆粒；
4、除半導體工藝外，某些還會(huì )產(chǎn)生顆粒的工藝。在這些過(guò)程中，顆粒不會(huì )混入油泵中，而是從油泵中排出，這可以通過(guò)干式真空泵解決；
5、用作常規無(wú)油清潔真空系統的前泵，以防止油污染。
