偏心輪在泵腔內作回轉運動(dòng),使由滑環(huán)和滑桿分隔的兩個(gè)工作室容積作周期性變化以實(shí)現抽氣的真空泵。
滑閥真空泵主要由泵體、滑環(huán)、偏心輪、轉動(dòng)軸和滑桿組成。轉動(dòng)軸的軸心與泵腔中心重合。在滑環(huán)上固定的長(cháng)方形滑桿,能在裝于泵體中的滑動(dòng)導軌中上下滑動(dòng)和左右擺動(dòng)。偏心輪連續不斷地旋轉,氣體便不斷地被吸入、壓縮和排出而達到連續抽氣的目的。在泵腔內各相對運動(dòng)件表面間有油膜密封,所以這種真空泵是一種油封式機械真空泵?;y真空泵極限壓力:?jiǎn)渭壉脼?.4帕,雙級泵為0.065帕;工作壓力范圍為1×105~13帕;抽速范圍為8~600升/秒(1升=10-3米3)。
滑閥真空泵可單獨作用或作為真空機組的前級泵。如安裝氣鎮閥,可抽含有少量可凝性蒸汽的氣體?;y真空泵在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬和真空蒸餾等方面都得到廣泛應用。