氣冷羅茨螺桿泵真空機組能工作在中真空范圍，是適合的，故又稱(chēng)羅茨增壓泵，由于其壓縮比不高，正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當三級高真空機組進(jìn)入較高的真空度時(shí)，由于主泵的排氣流量明顯減少，此時(shí)僅靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續性，在實(shí)際運用中這是經(jīng)常采用的方法，這樣可減少機組的能耗。高真空機組往往需要三級機組的另一個(gè)原因歸結于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強，傳統的高真空泵都在幾Pa的范圍。因此前級泵必須預抽到這一壓力主泵才能開(kāi)始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長(cháng)的時(shí)間，因為隨著(zhù)壓力降低泵的抽速在減小，特別是對于周期性抽氣的真空機組，對達到工作真空度的時(shí)間是有要求的，預抽時(shí)間越長(cháng)，進(jìn)入工作真空度的時(shí)間也越長(cháng)，故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合，可在較短的時(shí)間達到主泵可以工作的壓力，這樣可以使系統盡快地進(jìn)入工作壓力，保證了設備的使用效率。