由于
羅茨液環(huán)泵真空機組具有優(yōu)良的抽氣特性（在低壓下具有大的抽速），且在羅茨液環(huán)泵真空機組的極限真空范圍內使用羅茨真空機組作為后級泵，總能比前級真空泵提高一個(gè)數量級的真空度（如前級真空度為100Pa那未使用羅茨液環(huán)泵真空機組作后級泵，就可提高到10Pa,余類(lèi)推）。由于
羅茨液環(huán)泵真空機組的轉子與轉子，轉子與泵腔均無(wú)機械接觸，無(wú)需潤滑，故其功率損耗就明顯小于具有相同抽速的其他類(lèi)機械真空泵。又由于機組配備雙極水環(huán)泵作為前級泵，所以對抽除具有一定腐蝕性，含水蒸氣量大的工業(yè)流程特別適宜。
羅茨液環(huán)泵真空機組由多臺真空設備組成，前級泵選用水環(huán)泵對于使用更有利，有效克服了單臺水環(huán)泵使用時(shí)的極限壓力差，提高了工作效率，另外它的使用還具有以下優(yōu)點(diǎn)：
1、羅茨液環(huán)泵真空機組作業(yè)平穩、噪聲低、振小、極限真空度高。因為泵的傳動(dòng)部件采用牢靠的消隙構造，泵可高壓差下長(cháng)時(shí)間作業(yè)。起動(dòng)快，能在短時(shí)間內到達極限真空。所以泵腔內無(wú)相互滑動(dòng)的零件，無(wú)需用油潤滑，避免了油蒸汽對系統的污染。
2、發(fā)動(dòng)快，耗功少，作業(yè)維護費用低，抽速大、效率高，對被抽氣體中所含的少數水蒸汽和塵埃不靈敏，在100～1帕壓力規模內有較大抽氣速率。
3、羅茨液環(huán)泵真空機組選水環(huán)用泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，它克服了單臺水環(huán)泵使用時(shí)極限壓力差，在必定壓力下抽氣速率低的缺陷，一起保留了羅茨泵能敏捷作業(yè)，有較大抽氣速率的長(cháng)處。
